描述
DCS系统则将控制器分散在自动化系统中,并提供通用的接口、先进的控制、系统级数据库以及易于共享的信息。传统上,DCS主要应用于过程工艺和比较大的工厂,在整个工厂的生命周期中,大型系统应用程序更容易维护。
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE 3156011 Lam 853-015516-002
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER