描述
在DCS控制系统选型时,还要充分考虑到以下各个方面:为了确保控制系统的安全可靠性,该投入资金不能少,以充分发挥DCS技术优势。比如,控制器对数不能太低,以便于控制功能分配的合理分配;I/O模块的数量要合理,以便在分配IO通道时既可以避免重要信号的过度集中,以确保各I/O模件的余量合理等。
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083