描述
外观检查。检查系统设备的外观应完好,无缺件、锈蚀、变形和明显的损伤。有电源回路的电源熔丝和模件的通道熔丝应符合使用设备的要求;如有损坏应作好记录,并予以更换。各系统设备应摆放整齐,各种标识应齐全、清晰、明确。
Osaka Vacuum Turbopump TH542 untested 3620-01353
HVA Pneumatic Gate Valve 37291-14057-001 new 3870-00582
Ebara ET300WS Vacuum Turbopump 3620-01537 working
Ebara ET300WS-A Vacuum Turbopump 3620-01419 working
VAT Pendulum Valve 65050-PH52-AKK1 new 3870-03445
CTI-Cryogenics On-Board 250F Cryopump 8116167G001
Shimadzu Vacuum Turbopump TMP 2003-LM3 not working