描述
冗余技术
HCS允许用户在任何需要的关键部分扩充冗余部件,以免由于某个部件失效而影响系统运行。如在控制器中加入冗余的处理器,加入冗余的中央服务器及冗余的传输介质(如同轴电缆)等。
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00
AMAT PART # 0200-35539 200mm BLADE ROBOT QTZ w/RADIUS
AMAT ENDURA COVER RING PART # 0020-24804
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00