描述
HCS保留了DCS信息集中,控制分散的优势。系统按功能在垂直方向分为两级:操作管理级及过程控制级。各级之间既有分工,又有联系,在系统的协调下运行。同时,按生产过程作水平分解,以满足控制遍布整个厂区的需要。采用该分散控制结构,将多个控制器及I/O框架分散后进行联网,一方面可将生产过程的全部信息通过网络传送至中央服务器以实现信息集中,另一方面避免因个别设备出现故障殃及整个系统而造成的危险,提高可靠性。
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER