描述
电源方面的问题也较多,如备用电源不能自投,保险配置不合理及电源内部故障等造成电源中断,温压电源波动引起保护误动及接插头接触不良导致温压电源无输出;有的系统整个机柜通过一路保险供所有输入信号或一路电源外接负载很大,还的控制电源既未接又未有冗余备用。
UNIT UFC-8101 1 SLM Ar MASS FLOW CONTROLLER MFC
GRANVILLE PHILLIPS 20354029-YE-T MICRO-ION GAUGE
TYLAN 2900 500 SCCM 5% PH3 95% N2 MASS FLOW CONTROLLER
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