描述
电源质量同样影响系统的稳定运行。用于系统的电源既要保证电压的稳定,也要保证在一路电源故障时,无扰切换至另一路电源,否则会对系统工作产生干扰。过程控制处理机主/备处理机之间的切换有时也会导致干扰。另外,大功率的无线电通信设备如手机、对讲机等在工作时,极易造成干扰,危及系统运行。
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
AMAT PART # 0200-32985 GAS RING 12 HOLES
MKS ISOLATION VALVE MODEL # L2-40-AK-225-VNVNH