描述
DCS的维护可分为:日常维护;预防性维护和故障维护,日常维护和预防维护是在系统未发生故障所进行的维护。故障维护发生在故障产生之后,往往已造成系统部分功能失灵并对生产造成不良影响;相反,预防性维护是在系统正常运行时,对系统进行有计划的定期维护,及时掌握系统运行状态、消除系统故障隐患、保证系统长期稳定可靠地运行,形成定期维护的概念。实践证明,定期维护能够有效地防止DCS突发故障的产生,形成可观的间接经济效益。
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083