描述
过程通道故障过程通道故障出现最的多的是I/O卡故障:I/O卡故障一般的判断与处理,通过系统诊断,更换通道或通过更换备用件处理,至于其内部元件老化或是其他原因造成的损坏,一般热控制人员不好判断。I/O卡的检修一般是由厂家处理,目前的热控检修人员的手段还不能达到像检修常规仪表那样检修。而且生产厂家的I/O卡件已制造成一体化的趋势,这样只能购买备件。
FANUC A20B-1006-0290 tested warranty
Lam Research RF Generator P/N RMA: 515927
Blue M Oven Model CR07-256B/C
AMAT Applied Materials 13″ Treatment Shield Endura
AMAT Applied Materials 8″ Treatment Shield 0010-20127
Furon Chempure Pump P/N 3000539 M/N CDP0750