描述
判断波动数据是否为工艺上相关参数,若是相关参数则通知仪表及微机人员检查,看是否某调节系统波动引起相关参数变化,同时将相关调节系统打到手动状态,必要时到现场进行调节。
若波动数据工艺上彼此并无直接影响,则可能为微机某卡件发生故障,立即将相关自调系统打到手动调节,必要时到现场进行调节,同时,通知微机及仪表人员检查。
Omron C200HX-CPU64-E with C200HW-COM06-EV1
Olympus SZ4045 0.67x – 4x with ring illuminator
Mitsubishi A3ACPU & A3NMCA24
Unit UFC-8100 100cc SiH2C12
Anelva M-430HG M-430HG/JIS ionization gauge
JANCD-MSP02 rev.C
Greyline DFM-IV-B1A1A1A1A DFM-IV doppler flow meter
Arburg 745
Tylan VC-4900VRH 500SCCM Gas: H2O vapor LAM 797-92438