描述
控制操作失效是由于鼠标的操作信号不能改变过程通道的状态,一方面可能是过程通道硬件本身故障,另一方面可能是操作员站本身软件缺陷,在设备负荷过重或打开的过程窗口过多时,导致不响应。在检查过程通道功能正常后,应对操作员站进行检查,必要时进行重启,初始化操作员站。操作员站死机原因比较多,可能由于硬盘或卡件故障、软件本身有缺陷。
Nikon Precision Control Unit KXG49071-U01
Ebara Turbo-molecular Pump Controller 305W
BALDOR 34J051W315G1 1.5HP 3450RPM 3PH 4OC AMB MOTOR
Affinity Chiller Applied Materials AMAT CWA100KMP21CBD2
ASML Optical DEM Board 4022.437.0220 w/ optical cables
UNIT UFC-8100 Mass Flow Controller
UNIT UFC-8100XF Mass Flow Controller