描述
I/O输入输出信号:普通信号线应以选择屏蔽电缆为佳,比如K系列或J系列专用计算机控制电缆。在资金紧张时,可考虑使BVV或RVV系列非屏蔽电缆,尽量避免使用电线;热偶电线或电缆的选择可根据资金情况确定。
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083