描述
当发现某个操作站死机,监控画面数据不刷新,调节画面不起作用,查看右上方系统报警指示灯是否正常,并检查其他操作站是否工作正常,若正常,则仅该操作站有问题,通知微机维修人员修理。若其他操作站数据也不变,则为系统通讯网络出现故障,立即通知维修人员检查网络设备的运行情况,进行修复。
LAM Research 853-011632-001 rev F
Expedited shipping available
AMAT SERIPLEX BOARD
MRC PCB, 882-44-000 System Interface 943-II
Varian Cryo Vacuum Pump Cut-Away Display DISPLEX DE-20
Perkin-Elmer Model 4400 In Process Heater Base
ENI DCG-200 PLASMA GENERATOR 20kW SLAVE
Asyst SMIF-300 FL 9700-5158-01 Load Port 300mm Gasonics