描述
电源故障:电源故障问题较多,保险配置不合理,备用电源不能自投,电源波动引起保护误动及接插头接触不良易造成无电源。针对电源故障处理相对比较容易。首先,认真核对保险的配置及容量,真正起到保险的作用;其次,UPS的配备很重要,它可以在电源波动时也能保证系统正常供电,而且要考虑冗余和备用问题。
Dainippon Screen Power Supply 2-39-45432 SS-80WA-A DNS
STEC SMT-8000/SEC-8440 Mass Flow Controller
Applied Materials AMAT Electrostatic Chuck P/N:0090-092
Lam Research 2 PC Gas Ring 715-330135-003*NEW*
Electronic Vision (EVG) 4″ Hot Chuck w/ Watlow Controls
A59232 Sanyo Seiki SR7150-0002C-Z Robotic Arm