描述
在选择DCS控制系统时要优先考虑有在类似机组上良好运行业绩的控制系统,这样的成套控制系统通过了工厂试验和实际投运,其可靠行得到了时间的检验。同时要尽可能多地了解不同DCS在其他电厂的使用情况,尤其是主要出现的重大问题,以便在招标中进行比对和取舍。
Varian Model 845 Vacuum Ionization Gauge Controller
VERTEQ Spin Rinse Dryer SRD Power Control Module DC, RF
P-E 6″ Dia. RF Diode Backing Plate, 720-059-000
MRC 6″ Dia. Copper Type A Backing Plate, 808-25-006
MRC Ion Gauge PCB, I.G.C. No. 270-2, 1-00-004704
SVG PHOTORESIST CATCH CUP TEFLON BOWL CO2 CLEANED
1KW RF POWER AMPLIFIER PLASMA ETCHER DC POWER SUPPLY