描述
控制系统的硬件一定要具有高可靠性,在电子元器件上的生产工艺各环节上采用了成熟技术,电子模件最好能热拔插。控制器的运算和存储能力要足够,IO卡件具有很强的抗干扰能力。
Drytek / Lam, Ball Screw Assy P/N 715-250594-001
Antimony Doped Spin-On glass Diffusion, Burried layer
Aluminum Doped Spin-On glass deep P type Diffusion IC’s
AMAT 0020-75041 DOOR LOAD LOCK
Nikon PCB 4S020-023A Control-2
Tokyo Electron TEL ACT8 8″ Tweezers CT2910-290041-12
HP Agilent Laser Axis 10897B VME PCB Nikon Precision