描述
要严格控制电子设备间的环境条件,注意搞好消防、空调、通风及照明等工作。尤其要提的是通风和空调,由于DCS控制系统度温度要求严格,所以应尽早将空调系统投入运行,中央空调时出风口的不能正对机柜或DCS其他电子设备,以免冷凝水渗透到设备内造成危害;同时,电子卡件决不允许有粉尘进行,所以,要求电子间能一直保持环境清洁和滤网干净,注意除湿和调整好温度。
LAM Research 853-025902-001-3-C117
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VAT 07512-VA24-AAZ2/0693 Rectangular Door L Slit Valve
KLA PZT controller 710-400083
Heurikon HK68/V2FA KLA 750-404056-00
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LAM Research SASI # 810-17035-001
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