描述
整定PID参数时,一定要力求工况稳定,尤其是衰减曲线法整定PID,否则工艺中的其他干扰进入系统,就不能得到正确的4:1~10:1衰减比例度和衰减周期,就不能求得最佳PID参数。
Tencor instruments 261416 rev. C
ITK MCX-L for leica stage
Racal instruments 1260-66 1260-66B P/N: 407499-002
Motorola MCU mezzanine & peripheral 8404761C01 ISSO
Keithley 9102-EIM 9102 EIM card
Medison ER4-9/10ED PB-AXER4-9/10ED-A0
HP 70820A microwave transition analyzer DC – 40GHz