描述
由于所有控制站设备均为双路供电,一路UPS,一路市电,所以这种情况的发生几率很小。
当控制站全部断电后,监控画面上两个系统报警红灯亮,通讯中断,数据全部不刷新,所有自调系统完全失控,调节阀将恢复到初始状态,气开阀全关,气关阀全开。此时,应立即紧急处理或停车,同时到现场进行操作。
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD
Ebara Vacuum Pump Model 80X25 w small coolers and power