描述
ESD与DCS是完全分离的。DCS主要用于过程工业参数指标的动态控制。在正常情况下,DCS动态监控着生产过程的连续运行,保证能生产出符合要求的优良产品。而ESD则是对于一些关键的工艺及设备参数进行连续的监测,在正常情况下ESD是“静止的”,不采取任何动作。但是当参数发生异常波动或故障时,它会按照已定的程序采取相应的安全动作,使装置停在安全水平线上。所以ESD和DCS在过程工业中所起的作用不同,既有分工,又成互补关系。
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
Millipore Waferpure Megaline Cat No. WPLV202SI
NGK Ultra High Purity Water Manifold Valve Model CB-573