描述
ESD与DCS是完全分离的。DCS主要用于过程工业参数指标的动态控制。在正常情况下,DCS动态监控着生产过程的连续运行,保证能生产出符合要求的优良产品。而ESD则是对于一些关键的工艺及设备参数进行连续的监测,在正常情况下ESD是“静止的”,不采取任何动作。
Jeol PP01151-4 3RD CPU use on Jeol 5900 Lab6 SEM
Agilent 81632A power sensor
Arburg ARB 750 & FG-ML2 ARB 754
Jeol PP03143-2 V.DEC use on Jeol 5900 Lab6 SEM
Lam research 810-017038-002 rev. C
Applied materials VGA Video controller 0190-76050 Rev.B
Siemens NET CP Industrial ethernet 6GK7343-1GX11-0XE0
Tencor instruments power controls 239542 Rev. A