描述
前期准备工作。进入系统组态前,应首先确定测点清单、控制运算方案、系统硬件配置,包括系统的规模、各站IO单元的配置及测点的分配等,还要提出对流程图、报表、历史数据库、追忆库等的设计要求。
建立目标工程。在正式进行应用工程的组态前,必须针对该应用工程定义一个工程名,该目标过程建立后,便建立起了该工程的数据目录。
Jeol PH01135-1 STIG/AFC use on Jeol 5900 Lab6 SEM
Jeol PP03213-3 LV CTRL use on Jeol 5900 Lab6 SEM
Dainippon screen parts AP-1032C CEDB-1011 & AP-1059B
Nidek IM-12-AM2 AUTO FOCUS 54422-PC2888
Nidek IM12-XY3 GS-INTERFACE 54435-PC2882A
Tencor instruments FF Controller, HDLR 186392 rev. A1
Dainippon screen parts AP-1031D CEBB-101 & AP-1059B