描述
严禁电缆平行敷设在油管路的正上方或燃气管路的正上方,以及在油管路接口的下方通过。
计算机的输入输出信号电缆应敷设在带盖的电缆槽中,电缆槽道及盖板应保证良好接地。单根信号电缆应穿在钢制电缆管中敷设,电缆管要保证良好接地。电缆屏蔽层宜选用铜带屏蔽或铝箔屏蔽。
Lam research 810-190572-001
Millipore VC-4900VR 1000SCCM gas: H20 VAPOR
Millipore FC-2900M 100SCCM Gas: BCL3
Omron C200H-CPU01-E & C200H-MR831
Aera TC FC-981 20 SLM Gas: O2
Mitsubishi AC Servo Drive MR-J2S-40A
Nikon Motorized Objective Turret
Diversified technology CXT100A Tencor tech 156256 Rev C