描述
还可进行信号相容性检查,包括开关信号之间的状态是否矛盾,模拟信号值的变化范围是否正常,开关量信号与模拟量信号之间是否一致,以及各信号的时序关系是否正确等。定时校正参考点电位,并采用动态零点,可有效防止电位漂移。采用信息冗余技术,设计相应的软件标志位,并通过设置软件陷阱等方法来提高软件结构的可靠性。
KLA Tencor Sensor Buffer Board 710-710199-01
KLA Tencor Cassette Controller Board 710-711879-01
KLA TENCOR LON MOTOR DRIVER BOARD 001050T REV A
KLA Tencor 710-710112-00 Mechanical Drive Board
KLA Tencor 710-710112-00 Mechanical Drive Board
KLA-TENCOR Assy: 710-612095-002 REV.02 S/N.GA31010038