描述
当结点连到DCS的通讯网络上时,通常有一个网络接口,控制器把数据送到接口。人机界面从网络接口读取数据,读取数据应遵守网络通讯协议。网络物理结构有环形和总线两种,总线网络在逻辑上也是环形的。星形网络只用于小系统(100个I/O点内)
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083