描述
由于所有控制站设备均为双路供电,一路UPS,一路市电,所以这种情况的发生几率很小。
当控制站全部断电后,监控画面上两个系统报警红灯亮,通讯中断,数据全部不刷新,所有自调系统完全失控,调节阀将恢复到初始状态,气开阀全关,气关阀全开。此时,应立即紧急处理或停车,同时到现场进行操作。
STEC SEC-4400M O2 5SLM 5 SLM MASS FLOW CONTROLLER MFC
STEC SEC-4000M O2 50 SCCM MASS FLOW CONTROLLER MFC
TYLAN 2950 0.5 SLPM 5% PH3 95% N2 MASS FLOW CONTROLLER
MKS HPS MANUAL ANGLE VALVE UHV-40-ACC-EAVM 2 3/4 FLANGE
NATIONAL INSTRUMENTS NI PCI-GPIB 183617G-01 CARD
UNIT UFC-8160 2 SLM N2 MASS FLOW CONTROLLER MFC
UNIT UFC-8101 1 SLM Ar MASS FLOW CONTROLLER MFC