描述
连在DCS通讯网络上的部件称为结点。在地理位置上,结点可以分散配置,各结点之间的距离各DCS系统不同。有的可达几百米。传输速率在几百K至一百兆之间。10兆是常用的速率。DCS网络的总长度可达几公里,最短也有几百米,网络不够长时要加中继器。
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
AMAT PART # 0200-32985 GAS RING 12 HOLES
MKS ISOLATION VALVE MODEL # L2-40-AK-225-VNVNH
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003