描述
一次元件或控制设备出现故障有时不能直接被操作员发现,只有当参数异常或报警时,方引起注意。控制处理机(过程处理机)故障一般会立即产生报警,引起操作员注意。现在控制处理机基本上全是采用不1:1冗余配置,其中一台发生故障不会引起严重后果,但应立即处理故障的机器。在处理过程中,绝对不可误动正常的处理机,否则会发生严重的后果。
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER
ADVANCED ENERGY PDX 500 RF GENERATOR
LAM PART # 770-008341-002 PNEUMATIC CYLINDER