描述
控制操作失灵:是由于球标的操作信号没有正常改变过程通道的状态,造成操作失效,这是2个方面造成的,一个方面是软件缺陷,另一方面是硬件本身故障的状态针对这样的缺陷通常做法检查过程通道功能正常后,再检查操作远必要时进行重起初始操作。
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00
AMAT PART # 0200-35539 200mm BLADE ROBOT QTZ w/RADIUS
AMAT ENDURA COVER RING PART # 0020-24804
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455