描述
过程通道故障过程通道故障出现最的多的是I/O卡故障:I/O卡故障一般的判断与处理,通过系统诊断,更换通道或通过更换备用件处理,至于其内部元件老化或是其他原因造成的损坏,一般热控制人员不好判断。I/O卡的检修一般是由厂家处理,目前的热控检修人员的手段还不能达到像检修常规仪表那样检修。而且生产厂家的I/O卡件已制造成一体化的趋势,这样只能购买备件。
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4