描述
所有的系统信息、报告及总数据库由中央服务器统一管理,以实现信息集中管理。中央服务器用Windows NT为操作系统,配以系统应用软件,还可与企业管理系统相连。DCS的组态功能在HCS中也由中央服务器提供。工程师可利用中央服务器的系统应用软件来修改或添加控制配置并下载至控制器中。
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083
USHIO 100W Merqury Short Lamp
AMAT PART # 0020-21944 8″ QTZ PRECLEAN PLATE
CERAMIC LIFT PIN/SHORT PART # 0200-10162
796-00809 ANGLE VALVE REBUILD KIT
CONN ADPTR MTG QDS-UL(F)/QC(M) AMAT PART # 0020-04376