描述
采用并行总线,其I/O模件必需与控制器模件相邻。采用串行总线的情况下,I/O板和控制器之间的距离也要比较近才行。最好把控制器模件和I/O模件装在一个机柜内或相邻的机柜内。远程I/O应该采用现场总线。如CAN、LONWORKS、HART总线等。现场总线是90年代初发展起来的
Leybold WS1001 Roots Blower Vacuum Pump 707.0 CFM
Varian V1000HT Turbomolecular Vacuum Pump 950.0 LPS
Varian V1000HT Vacuum Pump Controller
Osaka Vacuum TG1810 TG-1810 Compound Molecular Pump
Edwards iQDP40 Dry Semiconductor Vacuum Pump w iQMB 250