描述
控制操作失灵:是由于球标的操作信号没有正常改变过程通道的状态,造成操作失效,这是2个方面造成的,一个方面是软件缺陷,另一方面是硬件本身故障的状态针对这样的缺陷通常做法检查过程通道功能正常后,再检查操作远必要时进行重起初始操作。
TYLAN 2950 0.5 SLPM 5% PH3 95% N2 MASS FLOW CONTROLLER
MKS HPS MANUAL ANGLE VALVE UHV-40-ACC-EAVM 2 3/4 FLANGE
NATIONAL INSTRUMENTS NI PCI-GPIB 183617G-01 CARD
UNIT UFC-8160 2 SLM N2 MASS FLOW CONTROLLER MFC
UNIT UFC-8101 1 SLM Ar MASS FLOW CONTROLLER MFC