描述
70年代中期以完成模拟量控制的DCS推向市场,代替以PID运算为主的模拟仪表控制。首先提出DCS这样一种思想的是原制造仪表的厂商,当时主要应用于化工行业。后又有计算机行业从事DCS的开发。70年代微机技术还不成熟,计算机技术还不够发达。操作站、控制器、I/O板和网络接口板等都是DCS生产厂家自行开发的,也就是所有部件都是专用的。
KLA-Tencor UltraPointe page scanner controller 000134 A
KLA-Tencor SLX RF Bench Assy. 740-336864-001 working
KLA-Tencor Prometrix FT-600 Film Thickness Measurement
Automated in-line film thickness mapping system w/ C2C
KLA-Tencor Housekeeping Control 0075164-002 working
KLA-Tencor CRS 3000 Optical Filter assy 000056 2198350
KLA-Tencor Transfer Arm Motor 400-08157-001 untested