描述
电源方面的问题也较多,如备用电源不能自投,保险配置不合理及电源内部故障等造成电源中断,稳压电源波动引起保护误动及接插头接触不良导致稳压电源无输出;有的系统整个机柜通过一路保险供所有输入信号或一路电源外接负载很大,还的控制电源既未接又未有冗余备用。
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615