描述
过程通道出现最多是卡件故障或就地总线故障。一种原因是卡件本身长时间工作,元器件老化或损坏;另外,因外部信号接地或强电信号窜入卡件也会导致通道故障。现在一般卡件本身都采取了良好的隔离措施,一般情况下不会导致故障的扩大,但此类故障一旦出现,则直接造成过程控制或监控功能的不正常。所要要及时查明故障原因,及时进行更换卡件。
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE 3156011 Lam 853-015516-002