描述
所有的系统信息、报告及总数据库由中央服务器统一管理,以实现信息集中管理。中央服务器用Windows NT为操作系统,配以系统应用软件,还可与企业管理系统相连。DCS的组态功能在HCS中也由中央服务器提供。工程师可利用中央服务器的系统应用软件来修改或添加控制配置并下载至控制器中。
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4