描述
热工值班工程师还要将本班发生的主要工作,如参数修改、保护解投、软件维护、硬件更换等基本信息记录在热工控制系统运行日志上。尽可能精确的记录系统的所有问题,记录系统所显示的任何错误信息和文字,以及问题出现后所做的处理。
OSAKA TG2213M TURBO PUMP
OSAKA TG360M TURBO PUMP
SHIMADZU CORP TMP-2001-LME TURBO PUMP
SMC INR-244-602A NESLAB CHILLER
APPLIED MATERIALS – 0090-09259 ESC,195MM NOTCH SIMP
Prometrix FT 750 – File Thickness Mapping System
Fusion G03 – Ozone Asher
LAM 9600 SE – Metal Etcher
APPLIED MATERIALS – P5000 CVD Chamber
Novellus 02-270441-00 – Gas Box
LAM 9600SE – Metal Etcher