描述
将相关参数进行对照比较,发现参数异常现象应及时进行检查或校准,并做好记录。历史数据存储设备应处于激活状态(或默认缺省状态),光盘或硬盘、磁带等应有足够的信息量,否则及时予以更换。使用磁带机时,应经常清洗带清洁磁头。软驱及光驱在使用一段时间后,要定期清洗。
Horiba PLCA-520 Particle Counter
JEOL JWS 7700
LAM 4420 – Polysilicon Etcher
ADE – 780 MRT – Digital Measurement System
TEL Act 8 SOD Track Photolithograph
Novellus C1-SN 95-09-962
Novellus C1-SN 89-11-062
Novellus C1-SN 96-47-2195
Novellus C1-Tungsten-Japan
APPLIED MATERIALS – P5000 CVD CHAMBER BODY