描述
经过大修或升级后DCS系统,应按照有关要求,进行系统的性能和功能试验。检修或升级后的系统,在各设备及功能检查、试验正常的情况下,应进行72h的离线运行,以便测试系统的稳定性,只有在系统的稳定性符合要求后,才能将系统正式投入在线运行。
APPLIED MATERIALS – 0010-40296 – ANTENNA-DOME ASSY,DOS
APPLIED MATERIALS – 0010-70064 – CHAMBER ASSY LOAD LOCK
APPLIED MATERIALS – 0010-70403 – ASSY, G-12 AFS LID
APPLIED MATERIALS – 0010-70403 – ASSY, G-12 AFS LID
APPLIED MATERIALS – 0010-76467 – HEAT EXCHANGER
APPLIED MATERIALS – 0010-76543 – ASSY HEAT EXCHANGER
APPLIED MATERIALS – 0010-77153 – COUPLING,FLEX,ROBOT