描述
DCS系统电源设计一定要有可靠的后备手段,负荷配置要合理并有一定余量;DCS的系统接地必须严格遵守技术要求,所有进入DSC系统控制信号的电缆必须采用质量合格的屏蔽电缆,并要同动力电缆分开敷设且有良好的单端接地;还要制定严格的管理制度如电子间出入登记、文明卫生等管理制度,定期消除灰尘、每天进行环境检查,定期对DCS系统接地进行测量,对DPC冗余切换、DPU及保安电源冗余切换进行试验等,以确保DCS外部环境条件状况良好。所以DCS投运前要做好一系列外部环境的检查,满足有关条件后再上电、投运。
APPLIED MATERIALS – 0021-38101 – CHAMBER LID, NGDT
APPLIED MATERIALS – 00220730022 – FAN UNIT WIDE
APPLIED MATERIALS – 0040-04982 – RING, CLAMP, UPPER,
APPLIED MATERIALS – 0040-05528 – CHAMBER BODY
APPLIED MATERIALS – 0020-17876 – INSULATOR, BELLOWS
APPLIED MATERIALS – 0040-18024 – E-CHUCK,200MM,MKA
APPLIED MATERIALS – 0040-32463 – UPPER MAGNET LINER