描述
近年来随着微电子技术、大规模集成电路技术、计算机技术和通信技术等的发展,PLC在技术和功能上发生了飞跃。在初期逻辑运算的基础上,增加了数值运算、闭环调节等功能,增加了模拟量和PID调节等功能模块;运算速度提高,CPU的能力赶上了工业控制计算机;通信能力的提高发展了多种局部总线和网络(LAN),因而也可构成为一个集散系统。特别是个人计算机也被吸收到PLC系统中。PLC在过程控制的发展将是一智能变送器和现场总线,暨向下拓展功能,开放总线。
Altman Browning Process Tube Loader
Focus / Deflector Power Supply Ion Implanter
Process Monitor Cooling Water Flow Monitor PM-102
Leybold WA1000 Vacuum Pump
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD