描述
当接地系统发生问题时(接地电阻过大,多点接地,接地线断线或接地线与高电压、大电流设备相接触等),会造成人员的触电伤害及设备的损坏,据了解,有些DCS系统经常“死机”(或不明原因的“死机”),大多是因为接地系统不良或存在问题所引起的。因此,完善、可靠、正确的接地,是DCS系统能够安全、可靠和良好运行的关键。
Sigma Koki leveling stage
Thermalogic RA2015-03 P/N: 121-201X
PLMS GC420 card
Lam research 810-190572-001
Millipore VC-4900VR 1000SCCM gas: H20 VAPOR
Millipore FC-2900M 100SCCM Gas: BCL3
Omron C200H-CPU01-E & C200H-MR831
Aera TC FC-981 20 SLM Gas: O2