描述
子系统或节点配置:系统配置应尽量不大于系统允许最大配置的60%,控制系统冗余设计应尽量使用卡件箱箱间冗余配置或机柜内冗余配置,机柜间的线缆尽量减少。备用的卡件或设备数量应不少于20%(包括上面提到的不易采购的电源,风扇等专用设备)。
Lambda LND X 152 12-15 Volt Regulated Power Supply 2.5A
APPLIED MATERIALS QUARTZ COVER 125mm POLY, 0200-10044
APPLIED MATERIALS Ring, top, 125 mm flat, 0200-00157
COORS Tek, SEMI WAFER. CEL 8.62, 41120-87756-010
Entegris Replacement element kit and wire guards 213-75
Entegris 3/4″ PFA Hand Valve KC-201-41-01
Applied Materials Shield, Lower, 8″, 0200-25077