描述
经过大修或升级后DCS系统,应按照有关要求,进行系统的性能和功能试验。检修或升级后的系统,在各设备及功能检查、试验正常的情况下,应进行72h的离线运行,以便测试系统的稳定性,只有在系统的稳定性符合要求后,才能将系统正式投入在线运行
Leybold EcoDry L Dry Vacuum Pump S309376
MKS Instruments Exhaust Throttle Valve 253B-15186
Nor-Cal Intellisys Pressure Controller 3870-00165
MKS Throttle Valve 683B-23795 working 75mm ISO
VACUUM MANOMETER CMLA-21 (100 Torr) – REFURBISHED