描述
内部诊断:每个输入通道使用一个公共输入电路和2个独立获取链路,每个微处理器驱动一个数字输入串行器(DIS)来实现对输入信息的采样。另外,微处理器还驱动一个数字输入还原器(DID),再驱动诊断功能块进行诊断,实现还原数据与输入数据的同步比较。
PRI KLA-Tencor Robot Track TRA035-LPS working
KLA-Tencor CRS-1010S DC Power Supply working
KLA-Tencor HRP-340 Motor Interface Board 303737 working
KLA-Tencor Computer Interface Board 307793 working
KLA-Tencor High Voltage Control Module 52-1081
KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement