描述
内部诊断:为了检查开关是否能够断开与闭合,要在输出模块(在模块内部电路,插入周期性的诊断循环)进行一个脉冲测试。
诊断序列包括:更改开关命令,这个时间非常短,不会影响执行器,最大不超过1ms;核实测试结果,并且恢复正确的开关命令。
KLA-Tencor Ultrapointe 000678T rev 5
KLA Tencor Vacuum Driver/Sensor 181137 REV B
KLA-Tencor DC Power Supply 0057847-000 working
KLA-Tencor AIT2 Timing Generator Board 0053946-000 AA
four x KLA-Tencor Ultrapointe 000678T rev 5
KLA-Tencor 8100 200mm XY Stage 780-10480-001 working