描述
如供电或通信线路的影响,过程通道的保险损坏,机柜电源不正常等。模件底座通信回路出故障。元器件老化或损坏,模件处于长时间工作导致的损坏。对于以上故障只有在出现故障时尽力修复,但前提是要有备品备件来保障。
Millipore FC2900 4V Viton 2SLPM Gas: O2 NEW
Millipore FC2910 4V Viton 2.5 SLPM Gas: N2 NEW
AEG PC-A984-145 DEP 216 & DAP 216N PLC
Horiba STEC SEC-4400M 2sccm gas: BF3
Mykrolis FC-2910V 30 SLPM Gas: O2 NEW
Millipore FC-2900V 500sccm Gas: N2 NEW