描述
采用物理上的分散结构,实现了分散控制
在现场就地安装控制器,不仅节省了输入输出电缆的长度,同时减少了传输信号的干扰。在功能上各控制器各自为政,各自独立完成各自的功能,使系统故障分散,从而使系统可靠性大为提高。
Varian DS102 DS 102 Dual Stage Rotary Vane Vacuum Pump
AURORA CENTRIFUGAL PUMP 344A BF 350 GPM 1750 RPM
Leybold D4A Refurbished Vacuum Pump
Pfeiffer/Balzers TPU-050 Turbomolecular Vacuum pump
DeviceNet Unit MFC UFC-8565, H2 2L, SIH4 30CC lots of 2
Unit MFC UFC-8561C, H2 100CC lots of 2 used