描述
一次元件或控制设备出现故障有时不能直接被操作员发现,只有异常或报警后才通知热控人员处理。这样对检修人员和运行人员的素质要求就要提高,运行人员要详细介绍故障前后的状态便于热控检修人员能够快速、准确地处理缺陷,减少故障的扩大化,另外许多DCS厂家在产品宣传上都支持卡件热拨,做为控制人员,在运行中更换卡件时一定要做好安全防护措施否则会引起系统变化或负荷变化,尤其数字量卡件。
Lam Research RF Generator P/N RMA: 515927
Blue M Oven Model CR07-256B/C
AMAT Applied Materials 13″ Treatment Shield Endura
AMAT Applied Materials 8″ Treatment Shield 0010-20127
Furon Chempure Pump P/N 3000539 M/N CDP0750
Altman Browning Process Tube Loader
Focus / Deflector Power Supply Ion Implanter
Process Monitor Cooling Water Flow Monitor PM-102